[VIP第1年] 指數(shù):2
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通過認(rèn)證?[誠信檔案]
緊湊的質(zhì)量流量控制器配有RS-485通訊接口，基于Axetris的鉑金MEMS技術(shù)(MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)）它提供了以下的優(yōu)勢。
·超緊湊的外形尺寸
·快速的穩(wěn)定時間<150 ms
·極佳的重復(fù)性和精度
·堅固的設(shè)計
·高量程比<1000:1
·極佳的長期穩(wěn)定性
它被推薦用于獨立的應(yīng)用和集成在工業(yè)，分析和醫(yī)療系統(tǒng)上的應(yīng)用。
基于MEMS工藝的熱式質(zhì)量流量技術(shù)；
重復(fù)性、復(fù)現(xiàn)性、穩(wěn)定性強(qiáng)；
氣體控制精度高，可快速響應(yīng)；
大于1000:1的動態(tài)量程比；
在很大的測量范圍內(nèi)，也能保持良好的線性度；
結(jié)構(gòu)緊湊，幫您實現(xiàn)新的功能的同時減小系統(tǒng)尺寸和重量；
ms < 150
模塊化設(shè)計，為OEM客戶量身定制。
參數(shù)
單位
典型值
流量范圍
sccm
20,50,100,250,1000,3000
目標(biāo)氣體
N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
流量精度0-10%
% F.S
0.2（250sccm,N2,4bara）
流量精度10-100%
% O.R
1（250sccm,N2,4bara）
穩(wěn)定時間
供電電壓
V
24
數(shù)字量輸入輸出
RS-485 全雙工
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