[VIP第1年] 指數(shù):2
?
?
?
?
?
通過認(rèn)證?[誠信檔案]
基于MEMS工藝的熱式質(zhì)量流量技術(shù)；
重復(fù)性、復(fù)現(xiàn)性、穩(wěn)定性強；
氣體控制精度高，可快速響應(yīng)；
大于1000:1的動態(tài)量程比；
在很大的測量范圍內(nèi)，也能保持良好的線性度；
結(jié)構(gòu)緊湊，幫您實現(xiàn)新的功能的同時減小系統(tǒng)尺寸和重量；
模塊化設(shè)計，為OEM客戶量身定制。
緊湊的質(zhì)量流量控制器配有RS-485通訊接口，基于Axetris的鉑金MEMS技術(shù)(MEMS:微電子機械系統(tǒng)）它提供了以下的優(yōu)勢。
·超緊湊的外形尺寸
·快速的穩(wěn)定時間<150 ms
·極佳的重復(fù)性和精度
·堅固的設(shè)計
·高量程比<1000:1
·極佳的長期穩(wěn)定性
它被推薦用于獨立的應(yīng)用和集成在工業(yè)，分析和醫(yī)療系統(tǒng)上的應(yīng)用。
| 參數(shù) | 單位 |
典型值 |
| 流量范圍 |
sccm |
20,50,100,250,1000,3000 |
| 目標(biāo)氣體 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 |
|
| 流量精度0-10% | % F.S |
0.2（250sccm,N2,4bara） |
| 流量精度10-100% | % O.R |
1（250sccm,N2,4bara） |
| 穩(wěn)定時間 |
ms |
< 150 |
| 供電電壓 | V |
24 |
| 模擬量輸入 | V | 0…5 |
| 模擬量輸出 | V | 0…5 |
| 數(shù)字量輸入輸出 |
RS-232 EIA | |
English
簡體中文
