[VIP第1年] 指數(shù):2
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通過(guò)認(rèn)證?[誠(chéng)信檔案]
基于MEMS工藝的熱式質(zhì)量流量技術(shù)；
重復(fù)性、復(fù)現(xiàn)性、穩(wěn)定性強(qiáng)；
氣體控制精度高，可快速響應(yīng)；
大于1000:1的動(dòng)態(tài)量程比；
在很大的測(cè)量范圍內(nèi)，也能保持良好的線性度；
結(jié)構(gòu)緊湊，幫您實(shí)現(xiàn)新的功能的同時(shí)減小系統(tǒng)尺寸和重量；
模塊化設(shè)計(jì)，為OEM客戶量身定制。
緊湊的質(zhì)量流量計(jì)配有RS-485全雙工通訊接口，基于Axetris的鉑金MEMS技術(shù)(MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)）它提供了以下的優(yōu)勢(shì)
·緊湊的外形尺寸
·快速的穩(wěn)定時(shí)間
·極佳的重復(fù)性和精度
·堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
·高量程比
·極佳的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
它被推薦用于獨(dú)立的應(yīng)用和集成在工業(yè)，分析和醫(yī)療系統(tǒng)上的應(yīng)用
| 參數(shù) | 單位 |
典型值 |
| 流量范圍 |
sccm |
20,50,100,250,1000,3000 |
| 目標(biāo)氣體 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 |
|
| 流量精度0-10% | % F.S |
0.2（250sccm,N2,4bara） |
| 流量精度10-100% | % O.R |
1（250sccm,N2,4bara） |
| 傳感器響應(yīng)時(shí)間 |
ms |
< 4 |
| 供電電壓 | V |
12 |
| 數(shù)字量輸入輸出 |
RS-485 全雙工 | |
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